靶材系列 设备及技术服务 电弧等离子喷涂
硅靶



 技 术 参 数
成份
 硅
 纯度
 ≥99.99%
相对密度
 ≥96%
 电阻率
 ≤80.cm
规格-长度(Max)
 000mm
 规格-厚度(Max)
 13mm

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